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掃描電鏡與能譜分析

掃描電鏡與(yu) 能譜分析

掃描電鏡(SEM)是介於(yu) 透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀性貌觀掃描電子顯微鏡察手段,可直接利用樣品表麵材料的物質性能進行微觀成像。掃描電鏡的優(you) 點是

①有較高的放大倍數,20-20萬(wan) 倍之間連續可調;

②有很大的景深,視野大,成像富有立體(ti) 感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表麵的細微結構;③試樣製備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀(yi) 裝置(EDS),這樣可以同時進行顯微組織性貌的觀察和微區成分分析,因此它是當今十分有用的科學研究儀(yi) 器。

 應用領域:微觀形貌觀察、半定量成分分析

 參考標準:GB/T 17359等。

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