矽材料及其製品檢測
概述
目前,國際通用作法是把商品矽分成金屬矽和半導體(ti) 矽。金屬矽是由石英和焦炭在電熱爐內(nei) 冶煉成的產(chan) 品,主成分矽元素的含量在98%左右(近年來,含si量99.99%的也歸在金屬矽內(nei) ),其餘(yu) 雜質為(wei) 鐵、鋁、鈣等。半導體(ti) 矽用於(yu) 製作半導體(ti) 器件的高純度金屬矽。是以多晶、單晶形態出售,前者價(jia) 廉,後者價(jia) 昂。
檢驗範圍
晶體(ti) 矽,石英玻璃管材、石英加熱管產(chan) 品,石英電光源產(chan) 品,石英器件、石英砂和矽微粉,碳化矽,金屬矽,熔融石英,水晶工藝品等10大類45項產(chan) 品的檢驗。
相關(guan) 檢測標準
gb/t 14849 工業(ye) 矽化學分析方法
gb/t 2881 工業(ye) 矽
GB/T 24581 低溫傅立葉變換紅外光譜法測量矽單晶中III、V族雜質含量的測試方法
GB/T 6616 半導體(ti) 矽片電阻率及矽薄膜薄層電阻測定非接觸渦流法
GB/T 1550 非本征半導體(ti) 材料導電類型測試方法
SEMI MF1630 單晶矽Ⅲ-Ⅴ級雜質的低溫FT-IR分析測試方法
GB/T 1553 矽和鍺體(ti) 內(nei) 少數載流子壽命測定光電導衰減法
SEMI MF 1535-1106 非接觸微波反射光電導衰減測試矽晶片載流子複合壽命的方法
GB/T 1557 矽晶體(ti) 中間隙氧含量的紅外吸收測量方法
GB/T 1558 矽中代位碳原子含量紅外吸收測量方法
GB/T 6624 矽拋光片表麵質量目測檢驗方法
GB/T 4061 矽矽片徑向電阻率變化的測量方法
GB/T 11073 多晶斷麵夾層化學腐蝕檢驗方法
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