失效分析電子顯微形貌觀察與測量

形貌觀察

（1）電子顯微形貌觀察與(yu) 測量

背景介紹

材料表麵的微觀幾何形貌特性在很大程度上影響著它的許多技術性能和使用功能，近年來隨著科技的發展，對各種材料表麵精度也提出了越來越高得要求。

掃描電子顯微鏡是目前常見的用於(yu) 表麵形貌觀察的分析技術。具有高分辨率，較高的放大倍數；景深效果好，視野大，成像富有立體(ti) 感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表麵的細微結構；試樣製備簡單；配有X射線能譜儀(yi) 裝置，可同時進行形貌觀察和微區成分分析。

通過掃描電子顯微鏡觀察材料表麵形貌，為(wei) 研究樣品形態結構提供了便利，有助於(yu) 監控產(chan) 品質量，改善工藝。

觀察的主要內(nei) 容是分析材料的幾何形貌、材料的顆粒度、及顆粒度的分布、物相的結構等。

應用範圍

材料、電子、冶金、航空、汽車地學、醫學、機械加工、半導體(ti) 製造、陶瓷品等。

測試步驟

對樣品進行表麵鍍鉑金，按照標準作業(ye) 流程放入掃描電子顯微鏡樣品室中，對客戶要求的測試位置進行放大觀察並測量。

推薦標準

JYT 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則

（2）光學顯微形貌觀察與(yu) 測量

項目介紹

光學顯微鏡是利用凸透鏡的放大成像原理，將人眼不能分辨的微小物體(ti) 放大到人眼能分辨的尺寸，其主要是增大近處微小物體(ti) 對眼睛的張角（視角大的物體(ti) 在視網膜上成像大）。普通光線的波長為(wei) 400——700nm，光學顯微鏡的優(you) 秀分辨率是0.2 um，人眼的分辨率是0.2 mm，所以顯微鏡的最高放大倍率通常為(wei) 1000 X。一般的光學顯微鏡有多個(ge) 可以替換的物鏡，這樣觀察者可以按需要更換放大倍數。因為(wei) 采用可見光作為(wei) 光源，光學顯微鏡對於(yu) 色彩的識別非常敏感和準確，不僅(jin) 能觀察樣品表層組織而且在表層以下的一定範圍內(nei) 的組織同樣也可被觀察到。

應用領域

光學顯微鏡操作方便、直觀、檢定效率高的特點,適用於(yu) 表麵觀察與(yu) 測量，不僅(jin) 可以鑒別和分析各種金屬、合金、非金屬製品的表麵缺陷及集成電路、印刷電路板、線材、纖維、表麵噴塗等表麵現象的檢查，還可以廣泛地應用於(yu) 電子、化工和儀(yi) 器儀(yi) 表行業(ye) 觀察不透明的物質和透明的物質。

目的

各業(ye) 界對外觀等問題越來越重視，對產(chan) 品製造工藝要求越來越嚴(yan) 格，產(chan) 品外觀的評級很大程度上反應了產(chan) 品質量。通過用光學放大輔助裝置檢查產(chan) 品外形、裝配、表麵是否有裂紋、孔洞以及焊接不良等缺陷，檢驗生產(chan) 線工藝、印刷線路板的質量以及電路組件中出現的焊接缺陷等，有助於(yu) 監控製作工藝流程，及時對檢驗的結果采取糾正措施，為(wei) 生產(chan) 過程的作業(ye) 以及產(chan) 品質量保證提供指導，保證產(chan) 品符合在最終使用環境下的形狀、配合及功能要求。

應用範圍

根據因零件的使用特性，允收標準一般包括理想狀況、允收狀況、拒收狀況等三種狀況。主要應用於(yu) 工裝檢具、金屬件等的檢定，電子產(chan) 品組裝、偏移、焊接異常檢驗，PCB/PCBA線路、防焊、孔、零件對準度以及文字圖形缺陷檢驗。

測試步驟

確認樣品類型→確認檢驗規範→將樣品放在光學顯微鏡下觀察→記錄觀察現象→結果評定

bIPC-6012   剛性印製板的鑒定及性能規範

IPC-A-610  電子組件的可接受性

IPC-A-600  印製板的可接受性